מִפרָט | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (מסילה נושאת אוויר) |
סוג מנוע | מנוע תלת פאזי ללא ברזל | מנוע סליל קולי+ |
פתרון הבעיה | כמות דיגיטלית ברירת מחדל של 100nm | 1vpp עד 5nm |
דחף מנוע | רציף 60N/שיא 210N | רציף 60N/שיא 210N |
גודל צעד מינימלי [nm] | 200 ננומטר | 100 ננומטר |
נסיעה [מ"מ] | 200×200 | 10 |
יכולת חזרה [אממ] | ±0.3 | |
דיוק מיקום [אומ] | ±1 | ±0.5 |
שטוחות [אממ] | 10 אמ | 5 אמ |
ישרות [אממ] | 1 ממ | 1 ממ |
מהירות מרבית [mm/s] | 500 מ"מ לשנייה | 30 מ"מ לשנייה |
קיבולת עומס [ק"ג] | 5 ק"ג (ציר Z עם משקל איזון כוח קבוע פניאומטי) |