-
סדרת מוצרים E-SCAN SCAN -1 Nano Scanning Stage
מערכת הסריקה מסדרת μSCAN היא מערכת משולבת בעלת ביצועים גבוהים שהושקה לאחרונה על ידי החברה שלנו.המכונה כולה משתמשת בגרניט בקשיחות גבוהה כבסיס, משתפת פעולה עם מנועים ליניאריים ופלטפורמות סרוו בעלי ביצועים גבוהים, ומשמשת בעיקר לסריקה, עיבוד, בדיקה ויישומים אחרים בדיוק גבוה.מבחר פרמטרי שבץ סטנדרטיים תומך באספקה מהירה, מה שמפחית מאוד את ליקויי השילוב הנגרמים מחוסר ההיכרות של הלקוח עם השילוב ואת החסרונות בביצועים שנגרמים מחוסר ההיכרות עם הניפוי.
-
E-LMT-XY (שלב מנוע לינארי דיוק גבוה) XY שלב תנועת מנוע ליניארי
● טווח נסיעה 100 מ"מ × 100 מ"מ או 200 מ"מ × 200 מ"מ
● חזרה חד כיוונית עד 0.3 מיקרומטר
● מנוע לינארי תלת פאזי ללא ברזל
● מהירות עד 500 מ"מ/שניה אינקרמנטלית
● מקודד ליניארי ברזולוציית 4.88 ננומטר
● מובילי גלילה מוצלבים
● מנועים לינאריים
-
E-ABW400-X פלטפורמה צפה אוויר חד מימדית
● אידיאלי לסריקת יישומים או מיקום דיוק גבוה
● תואם לחדר נקי
● גודל פלטפורמת התנועה 400 מ"מ × 138 מ"מ
● טווחי נסיעה 200 מ"מ עד 1000 מ"מ
● רזולוציה של 5 ננומטר
-
E-ABVT-Z שלב מיסב אוויר בציר אנכי
● טווח תנועה אנכי 20 או 38 מ"מ (1/2 אינץ')
● מיקום חוזר ל-10nm
● כושר העמסה עד 6 ק"ג
● אפשרות מקודד ליניארי למדידה ישירה
● הנעה מנוע קולי
● מסילות נושאות אוויר, מסילות כדור צולבות ניתן להשתמש גם
-
E-ABL250-X פלטפורמת מיסב אוויר חד-ממדית במיוחד
● אידיאלי לסריקת יישומים או מיקום דיוק גבוה
● תואם לחדר נקי
● גודל פלטפורמת התנועה 250 מ"מ × 90 מ"מ
● טווחי נסיעה עד 100 מ"מ עד 600 מ"מ
● קיבולת עומס עד 200 N
● עיצוב נושאי אוויר
● ה-E-EC-ABL-X
● כולל חתך קטן יותר משלבי נושאות אוויר טיפוסיים מבלי לוותר על יכולת העומס.המשטחים הגדולים הנושאים את האוויר מספקים קשיחות מעולה, המאפשרים עומס כבד.ייצור קנייני
● טכניקות מביאות לשלב עם מאפייני גובה, גלגול ופיה ללא תחרות.
-
E-EC-ABL-X שלב תנועת אוויר צף חד מימדי
● נושא אוויר טעון מראש לחלוטין
● זמין עם מהלך של עד 1000 מ"מ
● משוב מקודד ליניארי בעל דיוק גבוה
● עיצוב שלם ללא מגע
● עיצוב חלק במיוחד ליציבות מהירות יוצאת דופן
-
E-NLS92-50-1V-Bשלב תנועת מכתש ליניארי דיוק גבוה שלב ליניארי
● תכונות LS90-50-1V-B;
● הנעה מנוע ליניארי דק במיוחד.מהלך 50 מ"מ;
● גודל קטן במיוחד, פרופיל 122 מ"מ x 92 מ"מ x 18 מ"מ;
● תנועה מצטברת מינימלית של 50 ננומטר;
● דיוק מיקום חוזר: ≤100nm;
● רזולוציית פומפיה 1nm (1vpp);
● דחף מדורג 5N שיא דחף 16N;
● מעקה מדריך צולב מיובא;
● עומס מרבי: 4 ק"ג;
● תנועה רציפה חלקה, חיי שירות ברמה תעשייתית;
-
E-ABT-XY-360X360 (שלב מנוע ליניארי קרמי) XY מיסב אוויר ליניארי שלב מנוע
גרסת הקרמיקה משתמשת באלומינה בטוהר גבוה כמבנה הצף באוויר ורכיבי הנחייה.בהשוואה לגרניט ומתכת, לקרמיקה מאלומינה יש מקדם התפשטות קטן יותר, ואת היתרונות של ישרות, קשיות ועמידות בפני שחיקה.
-
E-GLMT-XY (High Precision Motor Linear Stage) XY שלב מנוע ליניארי
● מנועים לינאריים
● מנועים לינאריים הם כוננים ישירים אלקטרומגנטיים.הם מוותרים על רכיבים מכניים במערכת ההינע ומעבירים את כוח ההנעה ישירות וללא חיכוך לפלטפורמת התנועה.הכוננים מגיעים למהירויות ותאוצות גבוהות.מנועים ללא ברזל מתאימים במיוחד למשימות מיקום עם הדרישות הגבוהות ביותר לדיוק מכיוון שאין אינטראקציה לא רצויה עם המגנטים הקבועים.זה מאפשר ריצה חלקה גם במהירויות הנמוכות ביותר ובמקביל, אין רעידות במהירויות גבוהות.נמנעת אי-לינאריות בהתנהגות השליטה וניתן לשלוט בכל עמדה בקלות.ניתן להגדיר את כוח ההנעה באופן חופשי.
-
E-EC-ABL-X חד מימדי צף אוויר Precision Linear Stages
פלטפורמת המנוע הליניארי מסדרת E-EC-ABL-X מאמצת את השיטה של מסילה מובילה נושאת אוויר בשילוב עם מנוע ליניארי ליבת ברזל, בעל ישרות ושטוחות שאין כמותם במסילות הדרכה מכניות מסורתיות, והוא מתאים במיוחד למרחקי צעדים קטנים או אולטרה- תרחישי יישום מיקום מדויקים.זוהי בחירה מצוינת ליישום עבור ניפוי באגים אופטי מדויק, התקנה ועיבוד.
● למדריך ליניארי נושא אוויר יש שטוחות וישרות טובים מאוד
● מנוע ליניארי ליבת ברזל מבטיח קשיחות מערכת מספקת וביצועים דינמיים
● פעולה שקטה ויציבה עם רעש נמוך במיוחד
● יש לו רמת דיוק גבוהה מאוד
● אידיאלי לסריקת יישומים או מיקום דיוק גבוה
● תואם לחדר נקי
● גודל פלטפורמת התנועה 210 מ"מ × 100 מ"מ
● טווחי נסיעה 200 מ"מ עד 500 מ"מ
● רזולוציה של 100 ננומטר או 1 ננומטר
-
E-LMS250GT-X (שלב מיקום ליניארי) שלב תנועה מנוע ליניארי חד מימדי
פלטפורמת המנוע הליניארי E-LMS250GT-X משתמשת בגרניט באיכות גבוהה כבסיס, עם מסילה ליניארית גלגלית קשיחות גבוהה ומנוע ליניארי ליבת ברזל.
מכונה, בעלת שטוחות, ישרות ויכולת עומס מעולה, משמשת בדרך כלל כמודול הבסיסי של ציוד מיקום נייד בקנה מידה גדול.
● בסיס גרניט, קשיחות ויציבות טובים, שטוחות גבוהה.
● מסילה מכוונת ליניארית בטכנולוגיית C-LUBE, עד 5 שנים של מחזור ללא שימון.
● יעילות גבוהה, מנוע ללא מגע, מהירות גבוהה ויציבות במהירות גבוהה מאוד.
● קיבולת מהלך וטעינה מורחבת מעולה.
● משלוח מהיר המבוסס על דרישות הייצור של הלקוח.
-
E-NLS60-32-1V-B NLS Ultra-Thin Mini שלב תנועה לינארית
● סדרת NLS מאמצת מנוע סליל קול מותאם במיוחד, המשלב סורג ברזולוציה גבוהה ו
● Precision Cross Roller Guide, במיני
● לגודל הקטן יש גם דיוק גבוה ודינמיקה גבוהה כמו סדרת UMS.מתאים במיוחד לכמה תרחישים של יישומים הרגישים מאוד לנפח.
● מנוע הנעה ישירה ללא מגע, דיוק גבוה במיוחד וביצועים דינאמיים מצוינים
● מנוע ללא ברזל, תנודת המהירות היא פחות מאלפית (בשילוב עם סוג הכונן שצוין, נתוני הבדיקה של סביבת חדר הניסוי)
● פסי הדרכה שקטים ונגד זחילה להבטחת שליטה במיקרו-שלבים
● חיי שירות ארוכים, שימוש ללא תחזוקה לאורך זמן
